Esing的小站

外延概述 外延(epitaxy)，是指在单晶衬底上，用物理或化学的方法，按衬底晶向生长（排列）单晶薄膜的工艺过程。 新生长的晶体薄膜称为外延层，有外延层的硅片称为（硅）外延片。 与先前描述单晶生长的不同在于外延生长温度低于熔点许多。 外延是在晶体上(不仅指硅)生长晶体，生长出的晶体晶向与衬底晶向相同，掺杂类型、电阻率可不同。 对于异质外延，由于衬底和外延层的材料不同，晶体结构和晶格常数不可能完全匹配，随着外延生长工艺不同，在界面会出现两种情况——应力释放带来界面缺陷，或者在外延层很薄时出现赝晶（pseudomorphic）。 外延工艺用途 硅外延片：用于制作双极型晶体管。 衬底：高掺杂单晶硅 外延层：低掺杂 气相外延 外延原理 硅烷热分解方程式：SiH4→Si+2H2↑SiH_4 \rightarrow Si+2H_2\uparrowSiH4​→Si+2H2​↑ 表面外延过程 吸附→分解→迁移→解吸 表面外延过程表明外延生长是横向进行的.是在衬底台阶的结点位置发生的。 影响外延生长速率的因素 温度 硅源 反应剂浓度 其他因素： 衬底晶向(110)>(111) 反应室 ...

硅片的制备 多晶硅的制备 制备多晶硅，是采用地球上最普遍的原料石英砂（也称硅石），就是二氧化硅，通过冶炼获得多晶硅，再经一系列化学、物理的提纯工艺就制出半导体纯度的多晶硅。 电子级多晶硅纯度可达11N99.999999999%，11个9。 冶炼 SiO2+2C=Si+2CO↑SiO_2+2C = Si+2CO\uparrowSiO2​+2C=Si+2CO↑ 提纯 化学提纯——酸洗、物理提纯——蒸馏、分解 单晶硅生长 采用熔体生长法制备单晶硅棒： 多晶硅 -> 熔体硅 -> 单晶硅棒 按制备时有无使用坩埚又分为两类 有坩埚：直拉法、磁控直拉法 无坩埚：悬浮区熔法 直拉法 直拉法生长单晶硅锭的设备：单晶炉。 单晶生长原理 单晶生长是热力学准平衡过程。任何系统都会自发处于吉布斯自由能最小状态。 满足晶体生成的必要条件：Gs(T,P)⩽Gl(T,P)+γΔAG_s(T,P) \leqslant G_l(T,P) + \gamma\Delta AGs​(T,P)⩽Gl​(T,P)+γΔA Gs(T,P)G_s(T,P)Gs​(T,P)、Gl(T,P)G_l(T,P) ...

硅衬底 硅作为半导体材料的优点 硅在地壳中含量充分，仅次于氧，质量占27.72%；基本原料大量存在，易于获得； 二氧化硅对于器件有很好保护作用； 硅密度相对较小，硅单晶密度只有2.33g/cm3，只有锗或砷化镓的43.8%； 热导率高、膨胀系数小； 机械性能好； 硅在地壳中含量充分 源材料丰富：沙子（又称石英砂或硅石）是硅在自然界中的主要形式，制备单晶硅的基本材料；大量存在且易于获得，为降低单晶硅材料的成本提供了有力保障。 二氧化硅保护层 氧化硅对于保护硅晶片表面的元器件的结构和性质有着极其重要的作用； 本证氧化硅是硅平面工艺中最主要的单项工艺之一，在集成电路发展过程及现代工艺中都发挥着重要作用。 硅材料的密度相对较小 硅单晶密度只有2.33g/cm3，只有锗或砷化镓的43.8%。 硅微电子产品重量更轻。随着集成电路集成度的增加，芯片面积也越来越大，沉底质量轻就能整体减少整机质量，尤其是在航空航天领域的电子产品。 热导率高、膨胀系数小 硅的热导率可以和金属比拟，钢为1.0W/cm.C, 铝为2.4W/cm； 良好的热导率能够减小生产中由高温工艺给芯片带来的热应力；使用过程中有 ...

笔记内含大量图片，流量警告 目录 绪论 概述 第一章 单晶硅特性 第二章 硅片的制备 第三章 外延 第四章 热氧化 第五章 扩散 第六章 离子注入 第七章 化学气相沉积 第八章 物理气相沉积 第九章 光刻工艺 第十章 光刻技术 第十一章 刻蚀技术 第十二章 工艺集成

集成电路制造技术特点 超净室 超净室是指：一定空间范围内，室内空气中的微粒、有害气体、细菌等污染物被排除，其温度、洁净度、压力、气流速度和气流分布、噪声振动以及照明、静电等被控制在某一范围内的工作环境。第一章 超纯材料 纯度达到99.999999999%(11个9)以上，记为11N。 ppb: 十亿分之一 ppm: 百万分之一

信号与系统10h期末速成课【清华信号哥】bilibili 死记硬背 [{"url":"https://opic.esing.dev/img/lx-xz_2023-5-17_1638_250cfxc1pg.png","alt":"连续时间傅里叶变换性质"},{"url":"https://opic.esing.dev/img/lxd_2023-5-17_1638_r8rti75g8s.png","alt":"连续时间傅里叶变换对"},{"url":"https://opic.esing.dev/img/lsxz_2023-5-17_1638_g1uii2po7d.png","alt":"离散时间傅里叶变换性质"},{"url":"https://opic.esing.dev/img/lsd1_2023-5-17_1638_krb0joopvz.png","alt":"离散时间傅里叶变换对1"},{"url":"R:/lsd2.png","alt":"离散时间傅里叶变换对2"},{"url":"https://opic.esing.dev/img/lxz_2023-5- ...

报错 123456789101112131415161718192021222324252627282930313233343536373839404142434445464748495051525354555657585960616263646566676869707172737475767778798081828384858687888990919293949596979899100101102103命中:1 https://mirrors.tuna.tsinghua.edu.cn/ubuntu jammy InRelease获取:2 https://mirrors.tuna.tsinghua.edu.cn/ubuntu jammy-updates InRelease [119 kB]获取:3 https://mirrors.tuna.tsinghua.edu.cn/ubuntu jammy-backports InRelease [108 kB]获取:4 http://security.ubuntu.com/ubuntu jammy-security InRelease [110 ...

都什么年代，还在用传统Root？ [{"url":"https://webp.esing.dev/img/magisk_ppt_14_2023-5-6_0115_jc3aunz6va.PNG","alt":"magisk_ppt_14"},{"url":"https://webp.esing.dev/img/magisk_ppt_15_2023-5-6_0115_hu6xv6zskj.PNG","alt":"magisk_ppt_15"}] 加载更多 放两张PPT图片。 让我们先来看看安卓的启动流程： [{"url":"https://webp.esing.dev/img/android-boot-procedure_2023-5-6_0120_m9d4rucu36.jpg","alt":""},{"url":"https://webp.esing.dev/img/Original_2023-5-6_0128_qo7l26qo1s.png","alt":""}] 加载更多 第二张图是我手画的 ...

本文章仅为转载，如有侵犯版权，请立即联系博主进行删除。博主不承担阅读本文所带来的任何后果。 转载自：中国的防火长城是如何检测和封锁完全加密流量的 (gfw.report) 作者: Mingshi Wu, Jackson Sippe, Danesh Sivakumar, Jack Burg, Peter Anderson, Xiaokang Wang, Kevin Bock, Amir Houmansadr, Dave Levin, Eric Wustrow USENIX Security Symposium 2023 论文 (PDF) 开源代码及数据集 English version: How the Great Firewall of China Detects and Blocks Fully Encrypted Traffic 最后修改日期: 2023 年 4 月 30 日，星期日 摘要 全加密协议是翻墙生态系统中的一块基石。这类协议对数据包有效载荷的每一个字节都进行了加密，以期让流量 "看起来什么都不像"。2021 年 11 月初，中国的防火长 ...